奇奇中文>四合院：我是雨水表哥 > 第452章 光刻光刻（第2页）
第452章 光刻光刻（第2页）
刘高工笑了：“曝光就一两秒。麻烦的是前面的对准。”
他松开工作台的锁定，用手轻轻推动一个手柄，工作台缓缓移动了一小段距离。
然后他又低下头，凑到显微镜筒上，又开始调整。
“这是下一个芯片的位置。”陈光远解释，“一块晶圆上，要做上百颗芯片。每做完一颗，就要移动到下一个位置，重新对准，重新曝光。”
吕辰看着刘高工，心里忽然明白了很多事。
刘高工的动作很熟练，但也很慢。
每一次对准，都要花好几分钟。
每做完一颗，他都要直起腰，活动一下脖子，然后再低下头。
一颗，两颗，三颗……
半小时过去，才做了十几颗。
吕辰凑到胡教授身边，看着监视器。
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监视器的图像显示的是对位标记，每一次对准，都是一个从模糊到清晰的过程。
胡教授道：“一块晶圆上百次对准，一对就是几小时，非常考验意志力。”
周工道：“人的注意力，不可能一直保持巅峰状态。”
王工道：“这个环节对良率影响太大，我们统计过，下午的良率比上午低，周一的良率比周五高，疲劳积累是主要因素。”
郑长枫点头：“连续几十次对准之后，手会抖，眼睛会花，脑子会累。哪怕是最熟练的操作员，也会有失误的时候。”
吕辰问道：“一般的操作员，一天能做多少片？”
胡教授道：“一般的操作员，两片、最多三片，刘高工手稳，能做四到五片，而且保证良率，不同的人效率和良率都不一样，经验、体力、耐心等是主要因素。”
“两片？那不就是……两百颗芯片？”
“对。”胡教授说，“如果每片一百颗，就是两百颗。但这两百颗里，能用的，也就五十多六十颗。”
百分之三十不到的良率。
不是工艺不行，是人的极限。
人累了，就会出错。
……
从光刻间出来，吕辰三人来到陈光远的办公室。
陈光远给三人倒了水：“你们也看到了，有什么想法？”
诸葛彪道：“我一直听说良率上不去，今天总算是明白了，主要因素还是在对准过程上。”
吕辰和钱兰没有说话。
陈光远问道：“你们知道这gca-ocgs怎么做出来的吗？”
端起茶杯，喝了一口，看着窗外，自顾自说了起来。
“第一次百工联席会议的时候，小吕你从那四项国家级技术中拼出了集成电路，刘星海教授提出了星河计划。”
他顿了顿：“小吕，你知道吗？那个光学微细图形曝光技术，是我研的。”
吕辰惊讶道：“陈厂长，我从来没听说过，我只知道这个技术是长光所研的，不知道是您。”
陈光远笑道：“为了在物镜上蚀刻光学刻度，我们研究出了这项技术。当时百工联席会议召开，长光所接到邀请，我就带着这项技术来参加了。”
陈光远顿了顿：“这是题外话，说回来。当时星河计划方项，因为这项技术的原因，刘星海教授要求长光所牵头研制光刻机，因为这项技术，我的老师让我担任了光刻组的组长。”
他回忆道：“星河计划立项之初，虽然有钱先生、夏先生、刘教授，以及我的老师等人支持，但并不顺利，当时专家组吵得不可开交，晶体管和集成电路的路线之争，电子束蚀刻和光刻和路线之争，自己造和外面买的路线之争……，头三个月里，天天都在吵……”
“刘星海教授坚持认为集成电路是未来、光刻是未来、技术要掌握在自己的手里，为此，星河计划第一笔oo万资金，你们红星所一分没拿，全部给了其他组。”
他说道：“当时我们联系了哈工大、上海机床厂、武水院、天津仪表厂……，十几家单位，在长光所研光刻机。没有图纸，没有样机，没有技术资料可以抄。我们只知道一个原理，光通过掩模版，投影到涂了光刻胶的硅片上，就能把图案转印上去。”
“但“知道原理”和“造出机器”之间，隔着十万八千里。用什么光源？汞灯。但功率要多大？灯管怎么散热？寿命怎么保证？”
“用什么镜头？从哪弄？我们一块玻璃一块玻璃地磨，磨完了装起来测，测完了现像差太大，拆了重磨。
工作台怎么动？用手推是最原始的方案。但推完了怎么保证位置精度？加丝杠。丝杠精度不够怎么办？加光栅尺。光栅尺做不出来？自己刻。
对准标记怎么设计？十字架。但显微镜下怎么看清楚？加照明。照明角度不对怎么办？改。
每一根螺丝，每一块玻璃，每一个旋钮，都是这么一点一点“试”出来的。”
陈光远笑道：“我们把能想到的东西，一个一个往上加。加完了现不行，拆了重来。有时候拆着拆着，忽然想通了，哦，原来应该先做这个，再做那个。就这么摸着石头过河，硬是摸出一条路来。”
吕辰三人听得都惊呆了。
陈光远问道：“你们知道这gca-ocgs，我们花了多少钱吗？”
“多少？”
陈光远比了一个巴掌：“oo万不到，仅仅oo万不到，但是我敢说，在今天年，全世界，美国也好，欧洲也罢，我们的gca-ocgs都是最先进的，我是没见过德州仪器的光刻机长什么样，但我看过他们的产品，他们没有达到微米，不要说微米，o微米他们都没达到。”
他自信道：“的确，我们的良率上不去，一直卡在o以下，但也是最先进的。我们oo万搞出来了，他们的要多少钱，一个亿美金，还是两个亿美金？”
